金融界2024年10月22日音讯，国家知识产权局信息数据显现，新毅东（上海）科技有限公司请求一项名为“光刻机的电机操控办法和电机操控办理体系”的专利，公开号 CN 118763926 A，请求日期为 2024 年 6 月。

　　专利摘要显现，供给了一种光刻机的电机操控办法和电机操控办理体系。该光刻机的电机操控办法包括：上位主机经过预订通信协议发送多个电机的操控参数到可编程逻辑操控器；所述上位主机发送耳濡目染多电机指令到所述可编程逻辑操控器，所述耳濡目染多电机指令是包括所述多个电机依据所述多个电机的操控参数的同一条耳濡目染音讯；以及，所述可编程逻辑操控器响应于接收到所述耳濡目染多电机指令，以同步操控协议操控所述多个电机根据所述操控参数运动。这样，经过在上位主机和多个电机之间添加可编程逻辑操控器以同步操控多个电机，提高了多个电机的同步操控作用。